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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜ソース、ステージなど)、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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透過測定、蛍光測定に適した使い捨て分光測定用キュベット。
『CVDシリーズ』は、2次汚染のリスクを防ぐ使い捨てキュベットです。 「CVD-UV」は、波長範囲220 - 900 nmに対応した紫外域測定用キュベット。 また「CVD-VIS」は、波長範囲35...
メーカー・取り扱い企業: オーシャンフォトニクス株式会社
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エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適!
オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高...
メーカー・取り扱い企業: オーシャンフォトニクス株式会社
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