フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

MicroSeal-HA

前工程製造ならびに後工程製造の機械清掃などの用途に使用できます！

【用途例】 ■前工程製造ならびに後工程製造の機械清掃 ■酸化物、金属化、CVD区域での使用 ■フォトリソグラフィ・プロセス区域での使用 ■フラット・パネル、光学製品、チャンバーの清掃 ■イオン注入、拡散、CMP工程での使用 ■無菌環境でのオートクレーブ使用 ※...

メーカー・取り扱い企業： 森村商事株式会社 電子材料事業部

MicroSeal-SuperSorb

前工程製造の機械清掃をはじめ、液剤等の液体の拭取り用などに使用できます…

【用途例】 ■前工程製造の機械清掃 ■酸化、金属化、CVD区域での使用 ■イオン注入、拡散、CMP工程での使用 ■フォトリソグラフフィ・プロセス区域での使用 ■フラット・パネル、チャンバーの清掃 ■無菌環境でのオートクレーブ使用 ■液剤等の液体...

メーカー・取り扱い企業： 森村商事株式会社 電子材料事業部