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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜ソース、ステージなど)、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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紫外線から赤外線まで幅広い波長範囲!急激な温度変化にも耐えられる!
要とされる半導体製造プロセスは、『石英ガラス』の 重要な応用分野の一つです。 近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、ますます高精度な製品が 求められるようになってきています。 CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等 当社の加工技術で高度な要望に応えてさらに応用分野を拡大しています。 【特長】 ■紫外線から赤外線まで幅広い波長範囲 ■良好な透過特性 ...
メーカー・取り扱い企業: 京浜ラムテック株式会社
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