• 半導体業界向け特殊セラミック部品<カタログ無料進呈中> 製品画像

    半導体業界向け特殊セラミック部品<カタログ無料進呈中>

    PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…

    当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...

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    メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社

  • 石英ガラス加工製品・再生石英材料 製品画像

    石英ガラス加工製品・再生石英材料

    最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

    【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社インテリンク

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