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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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エレクトロニクス関連商品のオンラインストアです。量産工場、研究開発に関…
【取扱商品】 ・中古部品(ロボット、電源、モーター、ドライバー/コントローラー、ポンプ等) ・装置部品(CMP、CVD、PVD/スパッタ、ETCH/エッチング、フォトリソグラフィー、IMP/イオン注入 ・電子材料(ターゲット、タブレット、ロッド) ・ウェハ(シリコンウェハ、膜付きウェハ、チャッククリーニングウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社協同インターナショナル
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