フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

機能材料『CVD-SiC』

優れた高純度・耐食性！半導体製造装置部品として高い性能を発揮します

『CVD-SiC』は、CVD法（気相成長法）で製造したバルクSiCです。 高純度、耐食性に優れ、半導体製造装置部品として高い性能を発揮。 長寿命で、SiCコート品におけるピンホール、剥離の問題が発...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部

機能材料『PG（熱分解グラファイト）』

セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能！加工性に優れた機能材料

『PG』は、CVD法（気相成長法）で製造したグラファイトです。 半導体製造装置部品として優れた性能を発揮し、セラミックスでは 実現が困難な形状が作製できます。 また、銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部

機能材料『PBN（熱分解窒化ホウ素）』

少量・試作品から対応可能！蒸着用ルツボに適した機能材料

『PBN』は、CVD法（気相成長法）で製造した窒化ホウ素です。 高純度で高耐熱性に優れ、不純物の混入を嫌う工程で、 優れた性能を発揮します。 当製品は、反応性が低く、蒸着用ルツボに適しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部