• フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』 製品画像

    フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

    PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

    『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

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    メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • 【事例資料を進呈中】溶射・コーティング/表面処理適用例のご紹介! 製品画像

    【事例資料を進呈中】溶射・コーティング/表面処理適用例のご紹介!

    PR使い方はいろいろ!溶射をはじめとした表面処理・コーティング技術で生産効…

    鉄鋼から半導体、医療分野まで、さまざまな業界で幅広く利用される表面処理。 資料では、溶射・その他技術の概要や実績のあるアプリケーション等、幅広くご紹介しています! \こんな方におすすめです!/ ・表面処理をご検討中の方 ・今よりも長持ちするコーティングをお探しの方 ・熱影響の少ない処理をご希望の方 ・開発中の商品へ高機能性・付加価値付与をご検討中の方 ――――――― 掲載内容 ――――――――...

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    メーカー・取り扱い企業: トーカロ株式会社

  • コーティング技術の解説資料進呈!FCVA成膜技術について 製品画像

    コーティング技術の解説資料進呈!FCVA成膜技術について

    基材表面に種々の機能性を付与!摺動性向上など用途に応じた特性を得る事が…

    当資料は、コーティング技術の基礎知識と、弊社の「FCVA成膜技術」について掲載しております。 「PVDコーティング」をはじめ、「CVDコーティング」や「FCVA成膜技術」を 用いた水素フリーDLCコーティングについて解説。 コーティングは、使われる材質やコーティングの条件により、耐摩耗性、 耐熱性、摺動性向上など用途に応じた特...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン

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