フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

温水循環装置【KCTシリーズ】

高い精度と安定性を持った温水循環装置 清水を使う加熱タイプの温調機で…

【特長】 ○汎用温水循環装置 　高性能ポンプの採用により、負荷側温度を常に均一に制御可能 　昇温効率が高く、昇温時間が大幅に短縮 ○大流量温水循環装置 　CVD装置、ロール・ジャケット・各種チャンバーなど 　多様な用途の温度管理に対応可能 ○高温水循環装置 　 160℃までの高温域に対応し、昇温効率が良い 　 大流量ポンプの採用で、均一の温度管理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場