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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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素材に新たな特性を!各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工
着・IP成膜中型機 ・成膜エリア:φ500mm×2治具 ■真空蒸着・IP成膜大型機 ・成膜エリア:□800mm程度 ■スパッタ装置 ・成膜エリア:φ300×~t50mm ■P-CVD装置 ・成膜エリア:φ300×~t20mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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受託加工専業30年を超える実績!技術の向上で、更なるイノベーションへ!
・パターニング ・厚膜コーティング ・樹脂・フィルムへのコーティング ・立体物へのコーティング ・大面積へのコーティング 【設備紹介】 ■スパッタ装置 ■プラズマCVD装置 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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30年を超え、受託薄膜加工一筋!豊富な経験と確かな技術に培われた加工実…
東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。 単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜(積層膜)と様々な膜種に実績を残しています。 【適用分野】 ■電気・電子部品:電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品:汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連:軽量化・防蝕・固体潤滑...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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低温での成膜加工が可能!ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET…
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置ま...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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