フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

半導体製造装置用プロセスコントローラー

グラフィカルに各種装置・PLCを制御！医療・農業など異分野へ幅広い応用…

『半導体製造装置用プロセスコントローラー』は、当社の縦型減圧CVD装置 「HG-21」に搭載された、オリジナルの製品です。 産業機器、医療・農業など異分野へ幅広い応用が可能。 PCから簡単にプロセス条件の変更が行えます。またDI・DO・AI・AOで制...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイテクノサービス

熱媒体（油）循環装置『KCOシリーズ』

最高320℃に対応！各種警報回路や専用コントローラーを搭載。高精度な温…

【特長】 ■PID制御による高精度な温度制御が可能 ■160℃から320℃までニーズに応じて型式を選択OK ■CVD装置の温調、反応装置のジャケット温調、射出成形金型温調、 　各種ロールの温度コントロールなどに活躍 ※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場

蒸気供給装置『VDMシリーズ』

高速・正確・高い再現性で効率的！配線と配管をつなげるだけで動作！分析等…

『VDMシリーズ』は、ガス用・液体用の流量コントローラと 温度コントロール可能な気化器で構成される液体供給システム『CEMシステム』に 電源・コントロール機能・1.8インチTFT液晶ディスプレイといった 運転に必要な機能を加えて小型の筐体に内蔵した蒸気供給装置。 配線と配管をつなげるだけで動作し、100 mln/minから 10 ln/minの範囲で飽和蒸気圧までの蒸気を供給できます...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーし…

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社