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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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世界最小クラスのスパッタカソード単品試作から用途に合わせて製作
超高真空1インチ(小型)スパッタカソードは、世界最小クラスで単品試作から用途に合わせて製作します。製品開発の背景には研究装置の小型化、レアメタル材料の使用効率化、高品質化・高再現性・量産応用可能技術への継続性、分析・評価システムへの接続などがあります。ヘッド直接ガス導入・水冷式構造でφ1インチターゲット対応、マッチングボックス内蔵の専用RF電源付きでUHVにも対応お手持ちの真空チャンバーに容易に搭...
メーカー・取り扱い企業: ケニックス株式会社
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