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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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高度な技術と環境に配慮し、産業界のさまざまなニーズに対応します。
SEAVAC株式会社(旧社名は清水電設工業株式会社)は、熱処理装置メーカーとしてスタートし、現在は熱処理とPVDの受託加工、PVDおよび窒化処理装置の製造・販売を行っております。 米国関連会社SEAVAC(USA)も含め、自社製コーティング装置を導入することで、品質向上と技術開発の相互作用を生み出し、高品質なサービスを提供することを可能としています。 産業界の発展とともに、環境への配慮や高...
メーカー・取り扱い企業: SEAVAC株式会社 本社
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