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30件 - メーカー・取り扱い企業
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40件 - カタログ
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【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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PE CVDコーティング装置『CD1000 Nanofics 』
専用の真空蒸着装置を用い、気体として蒸着！ コンポーネントの割れ目に…
株式会社メディア研究所ではEuroplasma社のPE CVDコーティング装置『CD1000 Nanofics SE』を取り扱っております。 Europlasma社のPE CVDコーティング装置は日本で主流とされている液体コーティングとは異なり、気体としての蒸着を行い、液体では入りきれないコンポーネントの細かな隙間・割れ目まで均一なコーティングを実現いたします。 またプラズマを付加する...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メディア研究所
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PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD
最高品質を保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量生産プロセ…
この技術により、バリア成膜品、光学多層膜製品、機能性繊維、ディスプレーの製造や、一連の関連するカスタムアプリケーションを最適化することができます。 PlasmaMAX ホローカソード は、形状をカスタマイズすることができるため、水平型インライン式の真空成膜装置、垂直型インライン式真空成膜装置、ロールツーロールのウェブコーティングプロセスにも容易に組み込むことが可能です。簡単にカスタマイズできるデ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー
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低温成膜。高絶縁、ハイバリア、均一性！
『PEGASUS』は、メモリ、パワーデバイス、MEMSへの 絶縁膜、保護膜の形成プロセスに低温で緻密な安定した成膜が可能な 量産対応型プラズマCVD装置です。 インターロック機構による、高い安全性を持ち合わせており、ウエハ 接触部位に非金属を使用しているため、裏面からの汚染を防止します。 【特長】 ■低温成膜 ■メンテナンス性 ■ウエハ取扱...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社セルバック
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高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC
『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた 半導体特性を持つ薄膜です。 当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、 高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。 【特長】 ■高硬度 ■優れた耐熱性 ■優れた耐磨耗性 ■半導体特性を有する ■半導体装置部品等にも適応可能 ※詳しくはカタロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターフェイス
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優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…
『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを 採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる 高密度プラズマCVD装置です。 スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により 優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。 自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。
真空機器関連商品 EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞は、低圧高密度プラズマによる高速・高品質表面処理装置で、CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。低圧力領域においてエネルギー可変電子ビームにより、プロセスガスを高効率に解離、電離を行なうことができ、高密度の活性種を生成することが可能。CCPプラズマ、ICPプラズマでは達成できないプラズマ状態を生成し、様々な材料の精密成膜、エッチング...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング
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大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績（20…
質の優位点】 ■目的とする表面エネルギー（接触角）をコントロールできる ■活性種ガス(OHラジカル等)の侵入部分の細部まで処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置
乾燥工程不要 ■接触角（表面エネルギー）をコントロールできる ■活性ガス(各種ラジカル）処理なので、不織布や繊維束内部まで処理が可能。 ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■パーティクルフリー ■排ガス処理も不要 ■処理表面への物理的、電気的、熱的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型)...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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表面処理に関する技術資料を5冊まとめてプレゼント！
日本電子工業は1973年に独自のプラズマ熱処理装置「イオン窒化」を国内で最初に開発･実用化いたしました。 またセラミックコーティング､プラズマ熱処理そして高周波誘導加熱を基にし、熱処理のプロフェッショナル集団として産業界のニーズにお応えしています。 プラズマ熱処理装置「イオン窒化装置」をはじめ、独自技術を応用した熱処理設備の販売では､アジアをはじめ海外においても高い評価を得ています。 ＝...
メーカー・取り扱い企業： 日本電子工業株式会社 本社
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緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載 Ｃ…
緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。 高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。 半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低コスト。 絶縁膜（酸化膜・炭化膜）を高速形成。緻密な厚膜を高速形成。従来型のイオンプレーティング法の弱点を克服。 新たな表面機能を生み出す用途...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。
● 反応副生成ガスにも対応 カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される NH3（アンモニア）の他 副生成される可能性が ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 乾式除害では処理できない可燃性ガス（...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工
着・IP成膜中型機 ・成膜エリア：φ500mm×2治具 ■真空蒸着・IP成膜大型機 ・成膜エリア：□800mm程度 ■スパッタ装置 ・成膜エリア：φ300×～t50mm ■P-CVD装置 ・成膜エリア：φ300×～t20mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社
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受託加工専業30年を超える実績！技術の向上で、更なるイノベーションへ！
・パターニング ・厚膜コーティング ・樹脂・フィルムへのコーティング ・立体物へのコーティング ・大面積へのコーティング 【設備紹介】 ■スパッタ装置 ■プラズマCVD装置 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社
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豊富な改善事例をもとに、問題解決に向けた表面処理メニューを用途に応じて…
表面処理でのお困りごと。あきらめてそのままになっていませんか？ 当社は“表面処理”に関する豊富な知見とネットワークを駆使し、 数あるコーティング技術の中から、用途に応じて最適なメニューを提案。 数多くの改善事例をもとに、表面処理におけるお困りごとを解決へと導きます。 【各種用途例】 ◎モーターコア、電磁鋼板、スチール材などの冷間プレス用途 特殊PVD被膜（積層TiAlN、Al...
メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社
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豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置
コンパクトな卓上型ALD。 半導体デバイス、有機太陽電池、ナノワイヤー、量子ドットなどへの成膜により、表面保護や改質など様々なデバイス開発にご使用いただけます。 プロセスはALD・CVDの材料開発拠点で開発されたもの。 順次レシピを増やしてゆき、新規のプロセス開発も承っております。...設置面積：48x48cm 基板サイズ： 最大4インチ プレカーサー材料：５系統 方式：ホットウォール...
メーカー・取り扱い企業： ALDジャパン株式会社
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金型の耐摩耗性・耐凝着性向上や、機械部品の低フリクション化に！ ～耐…
「DOWA-低温DLC」は、当社独自のPVD+P-CVDプロセスで成膜することにより、 耐摩耗性・耐凝着性・低フリクション化に優れた、DLC皮膜を形成するコーティング加工です。 成膜装置に高電圧パルス電源を搭載し、DLC皮膜表面の平滑性を保ちつつ、 耐摩耗性を向上させることを実現しました。 特に、アルミプレス加工金型への被加工材凝着対策に適しています。 【特長】...
メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社
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新機能性薄膜開発に、次世代表面保護膜開発に
スパッタやプラズマCVDでは得られない、高品質膜を実現！ SPS装置（通電燒結装置）との組合せで、自在に薄膜開発が可能に！ 想いのターゲット製作から成膜実験までを、1日で可能に！ クリーン真空アークプラズマを用いたリアルイオンプレーティング ...生産用フィルタードアーク蒸着装置 開発用小型フィルタードアーク蒸着装置：μT-FAD ta-C膜、水素フリーDLC他各種DLCを...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウエキコーポレーション
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大気圧下で表面処理が可能なプラズマ処理装置。樹脂/金属/ガラスなど様々…
弊社の大気圧プラズマ処理装置、Openair-Plasma(R)は、改質力に優れており、様々な表面の改質に導入されています。また、圧縮空気と電気でプラズマを発生することができオゾンレスのため、既存インラインへの導入が容易にできます。 Openair-Plasma(R)装置は表面の洗浄と活性化を同時に施すことができ、溶剤レス＆乾式処理のため、生産プロセスの改善やコストダウンへもつながります。ま...
メーカー・取り扱い企業： 日本プラズマトリート株式会社
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【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高…
め乾燥工程(ドライプロセス)が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(OHラジカル)の侵入部分全て処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がな...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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よりきれいに、より新しく、どんな部品も洗浄・再生します！
で様々な部品を地球に配慮し洗浄・再生します。 市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に使用している構成パーツを、 母材を傷めることのない「ドライ洗浄サービス」などを展開。 MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで、再利用することが可能になり、 お客様のコスト削減に大きく貢献しています。 【ドライ洗浄サービス 特長】 ■市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エー・シーテクノロジー 東京営業所
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高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…
電子顕微鏡観察用前処理のための新型オスミウムコーター。 これまで人の手によるオペレーションの難しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス
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高度な技術と環境に配慮し、産業界のさまざまなニーズに対応します。
SEAVAC株式会社（旧社名は清水電設工業株式会社）は、熱処理装置メーカーとしてスタートし、現在は熱処理とPVDの受託加工、PVDおよび窒化処理装置の製造・販売を行っております。 米国関連会社SEAVAC(USA)も含め、自社製コーティング装置を導入することで、品質向上と技術開発の相互作用を生み出し、高品質なサービスを提供することを可能としています。 産業界の発展とともに、環境への配慮や高...
メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社 本社
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ICおよび半導体製造装置メーカーに対して信頼性の高いサポートを提供しま…
当社は、上海に長年の経験を持つ先端技術と信頼性の高い オペレーションチームを有しており、8インチ、12インチのファブ、 PVD/CVD/ETCH/IMPLA NT等のプロセスに対して、安定した洗浄技術を 提供することが可能です。 10の主要な精密洗浄および表面処理ライン （溶射、プラズマ溶射、14nm精密洗浄、陽極酸化、電気メッキなど）と サービスチームと連携し、品質管理と技術開発...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンファインマテリアル株式会社
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30年を超え、受託薄膜加工一筋！豊富な経験と確かな技術に培われた加工実…
東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。 単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜（積層膜）と様々な膜種に実績を残しています。 【適用分野】 ■電気・電子部品：電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑...
メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社
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大気圧プラズマ装置「AP Plasma Precise II」
ダメージフリー・パーティクルフリーの大気圧プラズマ装置
ズマ装置の優位点】 ■ドライ処理のため乾燥工程が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(各種ラジカル)の侵入部分全て処理ができる ■添加ガス変更で、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への電気的、物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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大気圧プラズマ装置を用いた効率的な繊維束状用表面改質方法
点】 ■ドライ処理のため乾燥工程が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(OHラジカル等)の侵入部分全て処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■コンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンスト...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア
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低温での成膜加工が可能！ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET…
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置ま...
メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社
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プレス金型の寿命・成形性向上に対するOX-FSP処理の有効性
〔効果〕表面硬度向上、フリクション低減！プレス金型に対する表面処理・精…
表面処理技術の精密ショットピーニング『OX-FSP処理』には、多様な効果がありますが、 その中でもプレス金型の寿命・成形性向上に対する有効性を5つご紹介します。 （１）表面硬度向上 （２）フリクション低減 （３）かじり低減、型寿命の延長 濡れ性向上によりプレス油の保持性向上 （４）膜の密着強度向上による、コーティング膜寿命の延長 （５）残留圧縮応力の付与によ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社オキソ
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