CVD装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

CVD装置

せる気相反応、表面反応を利用した薄膜作製装置です。原料ガス状物質を化学的に活性させる（励起状態にする）手法として、熱、プラズマ、光（レーザー、紫外線など）があり、各々熱CVD、プラズマCVD、光CVD装置などがございます。 ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

太陽電池作製装置（Si系、CIGS系太陽電池作製用のCVD装置）

高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC…

本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作製することが可能な装置です。太陽電池における光吸収層であるi層、およびpn層の各層が分離形成できるように、3つの薄膜堆積チャンバー、試料搬送用ロボットチャンバー、試料ストックチャンバーの合計5室で構成しております。...本装置は高周波プラズマCVD法およびホットワイヤーCVD法を用いた微結晶SiC太陽電池を作...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

グラフェン開発用小型熱CVD装置 SFCVシリーズ

大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…

少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、同時に大幅なコストダウンを実現しました。また、従来小型では困難とされてきた5～100Pa での圧力コントロール機能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。詳しくは、カタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』

パルス機能を利用！ALDと同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成す…

『KOBUS F.A.S.T.(R)』は、産業向けALDレベル膜質のプラズマ成膜装置です。パルス機能を利用することで、ALD(Atomic LayerDeposition：原子層堆積)と同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成する事が可能。プロセス温度は80℃～500℃でウエハサイズは150mm、200mm、成膜速度は 0.1nm/min～500nm/minとなっております...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

CVDプロセスガス分析装置 MPQMS]

CVDプロセスのガス成分をその場で分析できる四重極質量分析システムです…

当社の各種ナノカーボン製造装置やバイオマス炭化装置にそのまま組み込んで使用できるように設計してあります。作動排気系を有し、高い圧力のCVD条件にも対応できます。...【特徴】 ○四十極質量分析計 ○差動排気用高真空システム ○抽出データ管理用パソコン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロフェーズ

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど低圧条件のガス流れの解析ができる希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング

TruPlasma Bipolar 4000（G2.1）シリーズ

波形と周波数のフレキシビリティ！圧倒的な品質と性能を誇るプラズマCVD…

『TruPlasma Bipolar 4000（G2.1）シリーズ』は、半導体製造、建築用ガラスコーティング、太陽電池生産、高品質の硬質・装飾コーティング、光学膜向けの水冷式電力供給装置です。信頼性と性能が重要となるプラズマCVD（PECVD）と二重陰極スパッタリングプロセスに好適。エネルギー効率と力率、最高クラスのアーク制御を有します。【3つの大きな利点】 ...

メーカー・取り扱い企業：トルンプ株式会社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

中日本炉工業株式会社　会社案内

常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています！

【保有設備・機器(抜粋)】 ■横型真空熱処理炉 ■3室型連続式真空熱処理炉 ■油冷式真空熱処理炉 ■真空置換式焼戻炉 ■サブゼロ装置 ■熱CVD装置 ■各種検査機器・マイクロビッカース硬さ試験機・ショア硬さ試験機ロックウェル硬度計・顕微鏡・卓上顕微鏡+エネルギー分散型X線分析装置・マイクロスコープ・偏芯器・測...

メーカー・取り扱い企業：中日本炉工業株式会社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

タ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉／真空蒸留装置／自動ヘリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーし…

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。ブルックスインスツルメントのマスフ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

導電性薄膜作製装置『オスミウム・プラズマコーター』

電子顕微鏡観察のお悩みを解決！チャージアップ防止、粒状性・熱ダメージ軽…

『オスミウム・プラズマコーター』は、「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた電子顕微鏡試料用の導電性薄膜作製装置です。プラズマCVD法により、非晶質のオスミウム導電性薄膜(オスミウムコート)を短時間に形成することができます。非常に強固かつなめらかな表面の導電性薄膜が試料に対し熱ダメージを与えることなく得られます。【特長】 ■フルオ...

メーカー・取り扱い企業：フィルジェン株式会社

コンクリート充填検知システムジューテンダーCIFD-3 レンタル

振動デバイスに空気、不完全な充填、コンクリートが接触することにより、デ…

振動デバイスに空気、不完全な充填（ブリージング水など）、コンクリートが接触することにより、振動デバイスのピーク出力が変化し、そのデータを本体のマイコン処理によって液晶画面に色分けして表示します。振動デバイスに接触したものが、空気なら赤、不完全な状態なら黄色、コンクリートなら緑色を液晶画面に表示します。【特長】 ■流し込んだコンクリートが狭い箇所や隅々まで行き届いているか確認する充填検知機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソーキ

小型高性能飛行時間型質量分析計

小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、…

◆飛行時間型残留ガス分析器 IonTamerシリーズ小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニター可能。半導体、ソーラーパネル製造、OLEDディスプレイ、光学、真空コーティング工程（CVD、PVD、ALD）の研究開発にご使用いただけます。 IonTamerの装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作。直感的なソフトウェアで、測定データ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本レーザー

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。 ...・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

受託成膜・受託分析

各種成膜・表面処理・塗布加工や、受託測定のことなら当社へお任せください

アイゲート株式会社は『受託成膜・受託分析』を承っております。「受託成膜」では、Si、ガラス、フィルムなどの真空成膜加工が可能なほか、エッチングや表面処理、塗布加工にも対応。また「受託分析」では、高性能水蒸気・ガス透過率測定装置を使用した受託測定を致します。【受託分析詳細】 <水蒸気・ガス透過率測定> ■測定装置：DELTAPERM ■測定範囲：5×10-5g/...

メーカー・取り扱い企業：アイゲート株式会社本社

株式会社システムリンケージ　事業紹介

実験装置・自動制御装置のことなら当社にお任せください！

株式会社システムリンケージでは、理化学実験装置や真空装置、生産管理用測定装置の設計・製造を行っております。研究機関における実験装置は、特殊性が高いために、入念な打合せ、満足のゆく仕様検討、現場におけるフレキシブルなご対応を心がけ、製作いたします。また、当社の真空技術は2乗Pa近辺の低真空から-5乗Pa以下の高真空まで幅広く対応できます。研究開発機関やクリーンルーム、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社システムリンケージ

プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内のプラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高...

メーカー・取り扱い企業：オーシャンフォトニクス株式会社

オスミウムコーター

低ダメージでオスミウムをコーティング可能！

当社では、観察倍率が高いSEM試料やデリケートな有機材料、複雑な凹凸構造を持つ試料に低抵抗のオスミウム金属（非晶質&微細粒子）をコーティングし、導電処理を行う装置『オスミウムコーター』を取り扱っております。「ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法」を採用。ホローカソード円筒内全域に高密度プラズマが発生し、均一にコーティングが可能なため、試料サイズや試料高さでお悩み...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニオン

【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション

飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…

半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分をリアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。...

メーカー・取り扱い企業：カノマックスアナリティカル株式会社

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど低圧条件のガス流れの解析ができる希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

真空装置向け希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。お客様のニーズに合わせた対応も可能です。【ラインナップ】《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社