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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜ソース、ステージなど)、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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ドライエッチ、CVD、エピタキシャル成長プロセスから排出される、有毒ガ…
大手半導体、フラットパネルメーカー様へ多数納入実績あり! ■特徴1:発がん性物質の抑制 燃焼除害装置から出る発がん性物質の抑制が可能です。 ■特徴2:水のみでCl2除害効率99%以上 リサイクル水使用による、給水使用料の劇的削減、NaOH量の大幅な使用料削減を実現します。 ■特徴3:生産装置の歩留り向上 燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上を実現による生産装置のダウンタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東設 本社ヘッドオフィス
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