【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

機能材料『CVD-SiC』

優れた高純度・耐食性！半導体製造装置部品として高い性能を発揮します

『CVD-SiC』は、CVD法（気相成長法）で製造したバルクSiCです。 高純度、耐食性に優れ、半導体製造装置部品として高い性能を発揮。 長寿命で、SiCコート品におけるピンホール、剥離の問題が発生しません。 また、プロセスによって適したグレードを選択できます。 【特長】 ■高純度・優れた耐食性 ■長寿命 ■低抵抗、高抵抗グレード ■プロセスによって好適なグレードを選択...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部

気相成長株式会社　事業紹介

主に気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを取り扱っています！

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及び その関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタント を行っている会社です。 当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、 台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。 また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 気相成長株式会社

大面積への成膜加工！　ガラス…フィルム…セラミック…金属材…

大面積への成膜加工が可能！もちろん小さなものも（たくさん）搭載できます…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

SiCウェハボート

高温での使用が可能で1350℃まで対応可能！主要装置メーカーの認定を取…

高純度で高温での使用も可能なウェハボートです。 主要装置メーカーの認定を取得しており、パーティクル発生を抑制します。 【特長】 ■ 高純度 ■ 高温での使用が可能（～1350℃） ■ パーティクル発生を抑制 ■ 主要装置メーカーの認定を取得 ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください...【用途】 拡散／LP-CVDプロセス用ウェーハキャリア ...

メーカー・取り扱い企業： クアーズテック株式会社

ソリッドSiC

肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応！CVD法で製作した…

『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。 高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、 幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。 半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げる 材料として期待されています。 【特長】 ■高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れている ■幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮 ■パーティ...

メーカー・取り扱い企業： 東海ファインカーボン株式会社

工業用プラスチック加工品のご紹介～太陽電池製造装置部品～

低吸水率で成膜ムラの解消を実現！

基板に成膜する際のムラを解消するため、吸水率の低いスーパーエンジニアリングプラスチック「スミカスーパーS1000」が採用されました。■採用例：CVD装置のキャリア部品 ■材質：スミカスーパーS1000■加工：機械切削加工■採用理由：吸水率が低い、キャリアの欠け破損防止 ...

メーカー・取り扱い企業： 八十島プロシード株式会社

機能材料『PG（熱分解グラファイト）』

セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能！加工性に優れた機能材料

『PG』は、CVD法（気相成長法）で製造したグラファイトです。 半導体製造装置部品として優れた性能を発揮し、セラミックスでは 実現が困難な形状が作製できます。 また、銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れています。 【特長】 ■高純度・優れた耐食性 ■優れた加工性 ■高い熱伝導率 ■セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能 ■銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れる（面...

メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部

【カーボン製品の用途】電子部品

寸法精度が抑えられる！電子部品の製造治具や封着用治具としても使用されて…

黒鉛（グラファイト）は溶融金属に濡れない特長があり、加工性がよいため、 寸法精度が抑えられます。 そのため、トランジスターやダイオードの電子部品の製造治具や、リード線 とリングの位置決め治具、それらをガラス溶着する際の封着用治具や鋳型 としても、使用されています。 当社では、お客様要望に対応する加工精度、公差を実現、三次元測定機により、 品質を保証。また、カーボンの発塵性を抑え...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイホー製作所

株式会社グローバルダイヤモンド　会社案内

在庫保管による迅速な出荷が可能！社内で検査をおこなうことで当社が品質を…

グローバルダイヤモンドは、蓄積された検査データに基づく、 形状測定等新しい指標にもとづく特長ある新製品の開発を行っています。 お客様ごとの砥粒品質要求に対する細やかな対応とリーズナブルな価格。 社内で検査をおこなうことで当社が品質を担保します。 また、在庫保管による迅速な出荷が可能。さらに、品質問題発生時の 保管サンプルによる社内検証スピード対応ができます。 【営業品目】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローバルダイヤモンド

樹脂フィルムへの成膜加工

低温での成膜加工が可能！ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置ま...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社