CVD装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

受託加工『CVD-SiCコーティング』

高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC

『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた半導体特性を持つ薄膜です。当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。【特長】 ■高硬度 ■優れた耐熱性 ■優れた耐磨耗性 ■半導体特性を有する ■半導体装置部品等にも適応可能 ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターフェイス

薄膜とは

膜の厚みがナノレベルのコーティング！材料を蒸発させたり叩き出したりして…

「薄膜」は、“はくまく”や“うすまく”と呼ばれ、一般的には膜の厚みがナノレベルのコーティング（被膜）を指します。真空装置の中で、膜にしたい材料（金属等）を蒸発させたり叩き出したりして被膜を形成。湿式めっきのように、めっき“液”を使用しないことから “乾式めっき”と呼ばれることもあります。当社保有装置では、「真空蒸着」「イオンプレーティング」「スパッタリング」「プラズマ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

『薄膜コーティングサービス』

素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工

着・IP成膜中型機　・成膜エリア：φ500mm×2治具 ■真空蒸着・IP成膜大型機　・成膜エリア：□800mm程度 ■スパッタ装置　・成膜エリア：φ300×～t50mm ■P-CVD装置 　・成膜エリア：φ300×～t20mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

東邦化研株式会社　事業紹介

受託加工専業30年を超える実績！技術の向上で、更なるイノベーションへ！

　・パターニング　・厚膜コーティング　・樹脂・フィルムへのコーティング　・立体物へのコーティング　・大面積へのコーティング【設備紹介】 ■スパッタ装置 ■プラズマCVD装置　ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

コーティング技術のワンストップサービス

豊富な改善事例をもとに、問題解決に向けた表面処理メニューを用途に応じて…

表面処理でのお困りごと。あきらめてそのままになっていませんか？当社は“表面処理”に関する豊富な知見とネットワークを駆使し、数あるコーティング技術の中から、用途に応じて最適なメニューを提案。数多くの改善事例をもとに、表面処理におけるお困りごとを解決へと導きます。【各種用途例】 ◎モーターコア、電磁鋼板、スチール材などの冷間プレス用途　特殊PVD被膜（積層TiAlN、Al...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

厚膜成膜

薄い膜だけじゃない！厚く成膜することもできます。

一般的にナノレベルの成膜を行うことが多い薄膜ですが、弊社では厚膜のご依頼も多くございます。 1ミクロンから数ミクロン、ご案件によっては10ミクロン以上のご相談もいただきます。もちろん、どのような基材に何の膜をつけるのかによって変わってまいりますが、まずはお気軽にご相談ください★（もちろん薄い膜も得意です）東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

低温DLCコーティング『DOWA-DLC』

金型の耐摩耗性・耐凝着性向上や、機械部品の低フリクション化に！　　～耐…

「DOWA-低温DLC」は、当社独自のPVD+P-CVDプロセスで成膜することにより、耐摩耗性・耐凝着性・低フリクション化に優れた、DLC皮膜を形成するコーティング加工です。成膜装置に高電圧パルス電源を搭載し、DLC皮膜表面の平滑性を保ちつつ、耐摩耗性を向上させることを実現しました。特に、アルミプレス加工金型への被加工材凝着対策に適しています。【特長】...

メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社

FAD フィルタードアーク蒸着装置

新機能性薄膜開発に、次世代表面保護膜開発に

スパッタやプラズマCVDでは得られない、高品質膜を実現！ SPS装置（通電燒結装置）との組合せで、自在に薄膜開発が可能に！想いのターゲット製作から成膜実験までを、1日で可能に！クリーン真空アークプラズマを用いたリアルイオンプレーティング ...生産用フィルタードアーク蒸着装置開発用小型フィルタードアーク蒸着装置：μT-FAD ta-C膜、水素フリーDLC他各種DLCを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウエキコーポレーション

株式会社エム・エー・シーテクノロジー　洗浄再生事業部

よりきれいに、より新しく、どんな部品も洗浄・再生します！

で様々な部品を地球に配慮し洗浄・再生します。市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に使用している構成パーツを、母材を傷めることのない「ドライ洗浄サービス」などを展開。 MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで、再利用することが可能になり、お客様のコスト削減に大きく貢献しています。【ドライ洗浄サービス特長】 ■市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エー・シーテクノロジー東京営業所

SEAVAC株式会社事業紹介

高度な技術と環境に配慮し、産業界のさまざまなニーズに対応します。

SEAVAC株式会社（旧社名は清水電設工業株式会社）は、熱処理装置メーカーとしてスタートし、現在は熱処理とPVDの受託加工、PVDおよび窒化処理装置の製造・販売を行っております。米国関連会社SEAVAC(USA)も含め、自社製コーティング装置を導入することで、品質向上と技術開発の相互作用を生み出し、高品質なサービスを提供することを可能としています。産業界の発展とともに、環境への配慮や高...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社本社

精密洗浄サービス

ICおよび半導体製造装置メーカーに対して信頼性の高いサポートを提供しま…

当社は、上海に長年の経験を持つ先端技術と信頼性の高いオペレーションチームを有しており、8インチ、12インチのファブ、 PVD/CVD/ETCH/IMPLA NT等のプロセスに対して、安定した洗浄技術を提供することが可能です。 10の主要な精密洗浄および表面処理ライン（溶射、プラズマ溶射、14nm精密洗浄、陽極酸化、電気メッキなど）とサービスチームと連携し、品質管理と技術開発...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンファインマテリアル株式会社

東邦化研株式会社『コーティング受託加工実績』

30年を超え、受託薄膜加工一筋！豊富な経験と確かな技術に培われた加工実…

東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜（積層膜）と様々な膜種に実績を残しています。【適用分野】 ■電気・電子部品：電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

樹脂フィルムへの成膜加工

低温での成膜加工が可能！ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。小型装置から大型装置ま...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

プレス金型の寿命・成形性向上に対するOX-FSP処理の有効性

〔効果〕表面硬度向上、フリクション低減！プレス金型に対する表面処理・精…

表面処理技術の精密ショットピーニング『OX-FSP処理』には、多様な効果がありますが、その中でもプレス金型の寿命・成形性向上に対する有効性を5つご紹介します。（１）表面硬度向上（２）フリクション低減（３）かじり低減、型寿命の延長　　　濡れ性向上によりプレス油の保持性向上（４）膜の密着強度向上による、コーティング膜寿命の延長（５）残留圧縮応力の付与によ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オキソ