【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインア...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

中日本炉工業株式会社　会社案内

常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています！

【保有設備・機器(抜粋)】 ■横型真空熱処理炉 ■3室型連続式真空熱処理炉 ■油冷式真空熱処理炉 ■真空置換式焼戻炉 ■サブゼロ装置 ■熱CVD装置 ■各種検査機器 ・マイクロビッカース硬さ試験機 ・ショア硬さ試験機 ロックウェル硬度計 ・顕微鏡 ・卓上顕微鏡+エネルギー分散型X線分析装置 ・マイクロスコープ ・偏芯器 ・測...

メーカー・取り扱い企業： 中日本炉工業株式会社