CVD装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

熱CVD装置

反応ガスの流れが均一！反応室内にガスが淀むことがない熱CVD装置

『熱CVD装置』は、試料装填後、真空に排気した反応管内で気相成長を行うための装置です。石英製反応室、基板加熱系、真空排気系、ガス導入系及び制御系からなり、基板上に成膜が出来ます。本装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本シード研究所

グラフェン開発用小型熱CVD装置 SFCVシリーズ

大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…

少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、同時に大幅なコストダウンを実現しました。また、従来小型では困難とされてきた5～100Pa での圧力コントロール機能を備え、より多様な処理パターンに対応可能としました。さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。詳しくは、カタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業：佐藤真空株式会社

超高純度CVD-SiC「ソリッド SiC」

半導体装置に最も適した材料！様々な用途で発揮されるソリッド SiC

ソリッド SiCは、CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群であり、高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、半導体に最も適した材料と信頼されています。ソリッド SiCは、東海カーボン独自のCVD技術を応用し開発されました。半導体装置に最適化され、半導体の可能性を拡げる材料として期待されています。【特徴】 ○CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品...

メーカー・取り扱い企業：東海カーボン株式会社

真空装置　設計・製造サービス

実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…

す。一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。【真空装置、部品の製作事例】 ■PE-CVD装置 ■熱CVD装置 ■スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作） ■大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作 ■画像評価装置制御BOX製作　など ※詳しくはPDFを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC

真空フランジボールバルブ『BRWシリーズ』

NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！

ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。＃副生成物対策【特長】 ■フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制 ■CVD装置などの排気ラインに好適 ■ボールシートに耐久性・耐熱性...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

温水で230℃MAXまで昇温可能！温水循環装置【KCT230℃】

温水で230℃まで昇温が可能な温水循環装置です。スーパーエンプラ成形金…

【特長】 ○高温水循環装置　スーパーエンプラ成形金型温調、CVD装置、各種チャンバーなど　多様な用途の温度管理に対応可能　 230℃までの高温域に対応し、昇温効率が良い　大流量ポンプの採用で、均一の温度管理が可能 ●詳しくはお問い合わせ、も...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レイケン本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

パルスレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

ビューポートシャッター　SFシリーズ

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等　各種超高真空装置に使用可能 ○回転導入機も200℃ベーキング対応の　RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○ほとんど隙間なく閉じることが...

メーカー・取り扱い企業：アリオス株式会社

金型標準部品コーティング

金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介！

『金型標準部品コーティング』では、コーティングの特性や概要などについてご紹介しています。 CVD（化学蒸着）プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、複雑形状品にも適用可能です。 PVD（物理蒸着）プロセスは、プラズマエネルギーを利用して 200 ～ 500℃の低い温度でコーティングするので、基本的...

メーカー・取り扱い企業：オネストン株式会社本社

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置などさまざまな装置にお使いいただけます。【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

カスタムメイド装置／改造／メンテナンス／DLCコーティング

お客様のアイデアを具体化して、オリジナルの装置や改造などをご提案いたし…

でを一貫して実施 ■納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスも対応 ■当社製以外の装置に関する改造、メンテナンス、移設などにも幅広く対応 ■サンプル成膜用として4inch基板対応PE-CVD装置を所有 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：アイゲート株式会社本社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

タ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉／真空蒸留装置／自動ヘリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

みつかるガレージSUPS

エレクトロニクス関連商品のオンラインストアです。量産工場、研究開発に関…

【特徴】・量産向け装置部品（中古、新品）から研究開発向け商品（ウェハ、加工装置等）を多数ラインアップ・海外のユニークな商品、簡単にスマート工場を始められるIoT スターターセット等、幅広い商品群・カートへ入れての即時決済→納品、問い合わせ見積注文納品後日決済のいずれにも対応・ウェブサイト掲載品だけでなく新規の調達、受託製造のニーズにも臨機応変に対応...【取扱商品】・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております…

半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、先端産業向けに広く貢献しております。シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイトが使用されています。【種類】 ○ヒーター（光ファイバー用） ○ルツボ ○サセプター ○ダミーウエハ ○熱処理用治具　ほか ...

メーカー・取り扱い企業：穴織カーボン株式会社

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

【使用例】 ■MBE装置 ■CVD装置 ■有機材料成膜装置 ■分析装置　　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

ソリッドSiC

肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応！CVD法で製作した…

『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げる材料として期待されています。【特長】 ■高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れている ■幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮 ■パーティ...

メーカー・取り扱い企業：東海ファインカーボン株式会社

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様...

メーカー・取り扱い企業：メンテナンス･リサーチ株式会社

磁性流体シール

構成要素を全てグループ企業内で、開発・製造！高性能・高信頼性のシールを…

サイズの磁性微粒子を液体中に分散させたコロイド液体 ■耐熱性能が高いため、周辺に冷却機構を設ける必要がない ■差動排気無し直接排気のみで極高真空に対応 ■低アウトガス性能に優れている ■CVD装置等で局部的な冷却による副生成物の発生を抑えることが期待される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ダイジク株式会社大阪本社

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

【製作実績装置・部品】 ■真空デシケータ ■実験用薄膜作成装置 ■高真空チャンバー ■真空ベアリング試験機 ■常圧CVD装置 ■イオンビームスパッタ装置 ■卓上型装着装置（Meius） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社

『事例』プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。・真空設備のセンターリングが劣...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

ダイヤモンド加工サービス

硬く寿命が長い高精度な工具をご提供します！

当社では、ダイヤモンドを自在に加工し、切断工具・ヘッダー・パンチ・ガイド・ブレード等色々な形状の工具に作り変える技術を持っております。鋼や超硬やセラミック素材を使用した圧延ロール・成形ロールをはじめ、 PGAピン・電気電子部品加工用工具のダイヤモンドヘッダーパンチなど豊富な製作事例がございます。まずはお気軽にお問合せください。【製作事例】 ■圧延ロール・成形ロール ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山下合金ダイス研究所

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

当社は得意分野ごとに石英ガラスの加工業者を選定し、最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供しています。また、合成石英材料の取り扱もしていますのでお気軽にお問い合わせください。...【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク

クライオポンプ総合カタログ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！

【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを...

メーカー・取り扱い企業：アルバック・クライオ株式会社

2相・5相ステッピングモーター『CVDシリーズ』

用途に合わせてモーターを選定！選べる自由を追求したステッピングモーター

『CVDシリーズ』は、2相と5相のそれぞれの特徴を活かしながら、互換性を高め、選べる自由を追求したステッピングモータードライバです。たとえば、低速高トルクを必要とする装置では、2 相を使用、低振動や高精度位置決めを必要とする装置では、5 相を使用など用途に合わせて、好適なモーターを選定することが可能です。価格も大幅に見直してお求めやすくなりました。【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業：オリエンタルモーター株式会社

【オーダーメイド製作実績】各種真空装置

デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保…

ス切替装置 ■フィルム巾390mm対応R to Rプラズマ処理装置 ■低温グロープラズマ実験装置 ■HW式表面改質装置（CAT） ■排気セット（TMP+RP） ■ロードロック室プラズマCVD装置（当社デモ機） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社