【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』

パルス機能を利用！ALDと同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成す…

『KOBUS F.A.S.T.(R)』は、産業向けALDレベル膜質のプラズマ成膜装置です。 パルス機能を利用することで、ALD(Atomic LayerDeposition：原子層堆積)と 同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成する事が可能。 プロセス温度は80℃～500℃でウエハサイズは150mm、200mm、成膜速度は 0.1nm/min～500nm/minとなっております...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

中日本炉工業株式会社　会社案内

常に新しい技術を追求し、より高いレベルの製品づくりに努めています！

【保有設備・機器(抜粋)】 ■横型真空熱処理炉 ■3室型連続式真空熱処理炉 ■油冷式真空熱処理炉 ■真空置換式焼戻炉 ■サブゼロ装置 ■熱CVD装置 ■各種検査機器 ・マイクロビッカース硬さ試験機 ・ショア硬さ試験機 ロックウェル硬度計 ・顕微鏡 ・卓上顕微鏡+エネルギー分散型X線分析装置 ・マイクロスコープ ・偏芯器 ・測...

メーカー・取り扱い企業： 中日本炉工業株式会社

小型 高性能 飛行時間型質量分析計

小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、…

◆飛行時間型残留ガス分析器 IonTamerシリーズ 小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニター可能。半導体、ソーラーパネル製造、OLEDディスプレイ、光学、真空コーティング工程（CVD、PVD、ALD）の研究開発にご使用いただけます。 IonTamerの装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作。直感的なソフトウェアで、測定データ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー