【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

CVD、IBDの成膜装置

ヨーロッパ 発の技術！Leuven instruments装置の日本国…

・Shale Cシリーズ：ICP CVD（誘導結合プラズマCVD） 低温条件（<120℃）で緻密な成膜を実現可能 プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える 高アスペクト比の穴埋めに適用 ・Shaleシリーズ：PE CVD（プラズマCVD） 2周波数のプラズマ源を搭載、SiNx製膜の応力を幅広く制御可能 ・Ganistarシリーズ：IBD（イオンビーム堆積） 低温低圧条件...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

グラフェンCVD成膜装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

グラェン膜を合成するための管状炉熱CVD装置です 炉のスライド移動機構を搭載、サンプルの急加熱／急冷が可能　　　 オプションで、モータ駆動による自動スライド機能も追加可能　　 オプションで、ターボ排気ポンプの追加により、さらに高品質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ

プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』

引張り～圧縮の応力制御が可能！スペースに合わせて柔軟に設置できます

サムコ株式会社では、プラズマCVD装置である『PD-270STLC／PD-2201LC』を 取り扱っております。 「PD-270STLC」は、上部、中部、底部とカバレッジ性良く成膜が可能。 また「PD-2201LC」は...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

PIG式 DLCコーティング装置

優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現！スパッタカソードを標準装備していま…

『PIG式 DLC膜形成装置』は、独自開発によるPIGプラズマガンを 採用し、極めて平滑で相手攻撃性の低いDLC膜を高速で形成できる 高密度プラズマCVD装置です。 スパッタカソードを標準装備しており、スパッタ膜との積層構造により 優れた膜の密着性と高面圧耐性を実現しています。 自動車部品の表面処理用途に豊富な実績を持っており、多くの用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

温水循環装置【KCTシリーズ】

高い精度と安定性を持った温水循環装置 清水を使う加熱タイプの温調機で…

【特長】 ○汎用温水循環装置 　高性能ポンプの採用により、負荷側温度を常に均一に制御可能 　昇温効率が高く、昇温時間が大幅に短縮 ○大流量温水循環装置 　CVD装置、ロール・ジャケット・各種チャンバーなど 　多様な用途の温度管理に対応可能 ○高温水循環装置 　 160℃までの高温域に対応し、昇温効率が良い 　 大流量ポンプの採用で、均一の温度管理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場

最新の技術　ラボ・学校教育用　ナノチューブ生成機

CVD方式、アーク放電式の二つのシステムを用意しました。

最新の技術　ラボ・学校教育用　ナノチューブ生成機は小規模生産用ラボ器で2～3時間の授業時間中に準備からナノチューブの製造まで特別な技術を要しないで簡単短時間に生成できます。学生や初心者が安全に作業できるように配慮した設計で一般的なCVD方式のほかに短時間で生成が可能で品質の良いアーク放電式の二つのシステムを用意しました。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○小規模...

メーカー・取り扱い企業： エイアールブイ株式会社

ロードロック式プラズマALD装置『AD-230LP』

有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜しま…

『AD-230LP』は、原子レベルの膜厚制御が可能なALD装置です。 有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜。 ロードロック室を有し、反応室を大気開放することがないため、再現性に 優れた成膜が可能です。 また、容量結合プラズマ(CCP)方式を採用することで、反応室容積を最小化 しており、ガスのパージ時間を短縮し、1サイクルを高速化します。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

卓上オゾン排気ドラフト

卓上ドラフト内にUV/O3 装置やプラズマ装置を設置することで、オゾン…

装置のサイズや排気オゾン濃度や必要排気風量に応じたカスタム仕様、受注製作品。 詳細お問い合わせください。...環境仕様 ・ 設置環境温度 1515°以上6060°以下 ・ 入り側オゾン濃度 1000ppm 以下。※ ・ 流入ガスは結露無きドライガスの事。 ・ 排気配管部材は耐腐食性部材を使用の事。 ・ 作業環境の換気は適切に行ってください。 ・ 設置場所は振動無きこと 使用上の注意 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エキシマ 横浜ラボ

ＨＰＣ－２０フルオートオスミウムコーター

高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

電子顕微鏡観察用前処理のための新型オスミウムコーター。 これまで人の手によるオペレーションの難しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス