【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

熱CVD装置

反応ガスの流れが均一！反応室内にガスが淀むことがない熱CVD装置

『熱CVD装置』は、試料装填後、真空に排気した反応管内で気相成長を 行うための装置です。 石英製反応室、基板加熱系、真空排気系、ガス導入系及び制御系からなり、 基板上に成膜が出来ます。 本装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所

超高純度CVD-SiC「ソリッド SiC」

半導体装置に最も適した材料！様々な用途で発揮されるソリッド SiC

ソリッド SiCは、CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群であり、高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、半導体に最も適した材料と信頼されています。 ソリッド SiCは、東海カーボン独自のCVD技術を応用し開発されました。 半導体装置に最適化され、半導体の可能性を拡げる材料として期待されています。 【特徴】 ○CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品...

メーカー・取り扱い企業： 東海カーボン株式会社

ビューポートシャッター　SFシリーズ

ビューポートシャッター　SFシリーズ

蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 　各種超高真空装置に使用可能 ○回転導入機も200℃ベーキング対応の 　RFTシリーズを使用しているため、高温ベーキングが可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○ほとんど隙間なく閉じることが...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

金型標準部品コーティング

金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介！

『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD（化学蒸着）プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD（物理蒸着）プロセスは、プラズマエネルギーを利用して 200 ～ 500℃の 低い温度でコーティングするので、基本的...

メーカー・取り扱い企業： オネストン株式会社 本社

特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております…

半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、 各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、 先端産業向けに広く貢献しております。 シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイト が使用されています。 【種類】 ○ヒーター（光ファイバー用） ○ルツボ ○サセプター ○ダミーウエハ ○熱処理用治具　ほか ...

メーカー・取り扱い企業： 穴織カーボン株式会社

ソリッドSiC

肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応！CVD法で製作した…

『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。 高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、 幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。 半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げる 材料として期待されています。 【特長】 ■高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れている ■幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮 ■パーティ...

メーカー・取り扱い企業： 東海ファインカーボン株式会社

ダイヤモンド加工サービス

硬く寿命が長い高精度な工具をご提供します！

当社では、ダイヤモンドを自在に加工し、切断工具・ヘッダー・パンチ・ ガイド・ブレード等色々な形状の工具に作り変える技術を持っております。 鋼や超硬やセラミック素材を使用した圧延ロール・成形ロールをはじめ、 PGAピン・電気電子部品加工用工具のダイヤモンドヘッダーパンチなど 豊富な製作事例がございます。まずはお気軽にお問合せください。 【製作事例】 ■圧延ロール・成形ロール ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山下合金ダイス研究所

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

当社は得意分野ごとに石英ガラスの加工業者を選定し、 最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供しています。 また、合成石英材料の取り扱もしていますのでお気軽にお問い合わせください。...【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク