【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【プラズマCVD 装置】アピステのチラーPCUシリーズ

アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開！…

【プラズマCVD 装置】 冷却水温を一定に温調することで、反応室やプラズマ電極、基板の最適温度を保ちます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 【選べる3シリーズのチラー】 1.PCU-NEシリーズ：ノンフロン冷媒を使用し、フロン排出抑制法の対象外 2.PCU-SLシリーズ：厳しい現場環境でも、安心してご使用いただける高い耐久性を実現 3.PCU-Rシリーズ：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピステ

排ガス除害・除粉装置・ウェットスクラバー　Panacea

ドライエッチ、CVD、エピタキシャル成長プロセスから排出される、有毒ガ…

大手半導体、フラットパネルメーカー様へ多数納入実績あり！ ■特徴１：発がん性物質の抑制 燃焼除害装置から出る発がん性物質の抑制が可能です。 ■特徴２：水のみでCl2除害効率99%以上 リサイクル水使用による、給水使用料の劇的削減、NaOH量の大幅な使用料削減を実現します。 ■特徴３：生産装置の歩留り向上 燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上を実現による生産装置のダウンタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 　乾式除害では処理できない可燃性ガス（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

株式会社三建アクセス　事業紹介

先進の技術力と、最新の情報力で、開発ニーズに応える株式会社三建アクセス

株式会社三建アクセスの三本柱は、環境保全、再資源化（リサイクル）、省エネルギーにおける地域社会への貢献です。 私たちは、その実現に向け、それを可能とする様々な技術・商品のご提案、サービスの提供を行っています。 そして、そこに生じるお客様の満足を喜びとし、同時に感謝の気持ちを企業向上の源としています。 私たちは、顧客第一主義の考えを軸とし、日々、感謝と反省の気持ちを心に未来へのスパートを続けて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三建アクセス

真空焼結炉　FVS-I 誘導加熱式

最高3200℃までの高温に対応可能！黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただ…

『FVS-I 誘導加熱式』は、電気をエネルギー源とした工業加熱装置です。 最高3200℃までの高温に対応可能。 タンク形状は丸型でφ800×1000H(mm)の炉内有効寸法の実績があります。 溶解、焼結、焼成、ホットプレスなど、様々な業種で必要とされる 熱加工方法に対応でき、黒鉛化炉、CVD炉などに導入いただけます。 【特長】 ■最高3200℃までの高温に対応できる ■タ...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工業株式会社 滋賀工場

サーモシステム事業

電気をエネルギー源とした各種工業加熱システムを提供するサーモシステム事…

富士電波工業株式会社の「サーモシステム事業」についてご紹介します。 誘導加熱装置のメーカーとしてスタートし、産業構造の変遷に柔軟に対応。 鉄鋼など金属の溶解炉、ファインセラミックスなどの焼成炉、シリコンの 溶融、CVDなど各種の表面処理、熱処理設備とバラエティを広げています。 熱加工を必要とする様々な業界のお客様の多彩なニーズをくみ取って、 高温から低温まで、システム化された好適...

メーカー・取り扱い企業： 富士電波工業株式会社 滋賀工場