フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

『表面処理の技術資料』5冊まとめてプレゼント中！

表面処理に関する技術資料を5冊まとめてプレゼント！

日本電子工業は1973年に独自のプラズマ熱処理装置「イオン窒化」を国内で最初に開発･実用化いたしました。 またセラミックコーティング､プラズマ熱処理そして高周波誘導加熱を基にし、熱処理のプロフェッショナル集団として産業界のニーズにお応えしています。 プラズマ熱処理装置「イオン窒化装置」をはじめ、独自技術を応用した熱処理設備の販売では､アジアをはじめ海外においても高い評価を得ています。 ＝...

メーカー・取り扱い企業： 日本電子工業株式会社 本社

Coat-Xの技術で生体適合性にも対応できる！

スイス発のCoat-Xは生体適合性にも優れたPPXコーティングが可能！…

スイス発のCoat-X SA社開発の独自技術を用いた通常のPPXコーティングとは違うコーティング！ 弊社のPPXコーティングは防水、耐水、耐湿、生体適合、絶縁、耐熱性といった様々な外的要因からモノを保護できます。 今回はスイスでの実際に取り組んでいる事例をご紹介したいと思います。 Coat-X SAはISO13485の認証を取得、医療装置を取り扱うことに強みを持っています。 ス...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社グループ

水素フリーDLCコーティング【成膜装置の販売・受託成膜】

《技術資料を進呈》室温成膜で高硬度・高密着・優れた耐摩耗性を実現！プラ…

フィルタードアーク方式による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、 電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。 また、室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、セラミックス等の様々な材料への成膜も可能です。 更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化、長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

低温成膜で高硬度のDLC(TAC)膜を提供

部品の傷付き、摩耗にお困りではありませんか。水素フリーDLC（ta-C…

フィルタードアーク方式（FCVA）による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、 電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。 また室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、セラミックス等の様々な材料への成膜も可能です。 更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化、長寿...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン