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プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）
計算の精度が高い！装置内のプラズマ密度が、比較的低い場合のプラズマ解析…
『プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）』は、プラズマ CVD装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、機能性薄膜の 製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析ができる モジュールです。 装置内のプラズマ密度が、比較的低い（10...
メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社
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