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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…
◉ グラフェン, カーボンナノチューブ ◉ ZnOナノワイヤ ◉ SiO2等の絶縁膜など その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに対応...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…
少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5~100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業: 佐藤真空株式会社
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実験装置・自動制御装置のことなら当社にお任せください!
株式会社システムリンケージでは、理化学実験装置や真空装置、 生産管理用測定装置の設計・製造を行っております。 研究機関における実験装置は、特殊性が高いために、入念な打合せ、 満足のゆく仕様検討、現場におけるフレキシブルなご対応を心がけ、 製作いたします。 また、当社の真空技術は2乗Pa近辺の低真空から-5乗Pa以下の高真空まで 幅広く対応できます。研究開発機関やクリーンルーム、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社システムリンケージ
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卓上に置いて即実験!高温小型真空炉として使用可能!
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すれば高温真空管状雰囲気炉の完成 ・16パターン×16ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて32×32プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・電源はA.C200V 1P 4Kw 省エネタイプ ・標準でブルドン真空計付き ...『FT-201P-...
メーカー・取り扱い企業: フルテック株式会社
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卓上に置いて即実験!小型真空炉として使用可能!ガス系等及び真空装置を接…
【特徴】 ・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すればCVD装置の完成 ・9パターン×9ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて16×16プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能 ・M...
メーカー・取り扱い企業: フルテック株式会社
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