フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

最新の技術　ラボ・学校教育用　ナノチューブ生成機

CVD方式、アーク放電式の二つのシステムを用意しました。

最新の技術　ラボ・学校教育用　ナノチューブ生成機は小規模生産用ラボ器で2～3時間の授業時間中に準備からナノチューブの製造まで特別な技術を要しないで簡単短時間に生成できます。学生や初心者が安全に作業できるように配慮した設計で一般的なCVD方式のほかに短時間で生成が可能で品質の良いアーク放電式の二つのシステムを用意しました。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○小規模...

メーカー・取り扱い企業： エイアールブイ株式会社

実績技術　ナノ関連

電気抵抗の改善や、ナノ粒子が小さいのでPtの量を減らす事が可能。

実績技術　ナノ関連はカーボンナノホーンを20％～30％含んだNanoカーボン物質に、Ptを37wt%で担持（下写真左）した結果、従来よりも電気抵抗の改善や、ナノ粒子が小さいのでPtの量を減らすことが可能となった。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○カーボンナノホーンを、20％殻30％含んだナノカーボン物質に、Ptを37wt％で胆持した結果、 　従来よりも電気抵...

メーカー・取り扱い企業： エイアールブイ株式会社