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構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。 ソフト対応も含…
１．主要部品独自製作（Transfer Robot、EFEM、Load Port、Controller） ２．EFEM PCにて、主要部品をコントロール （SECS／GEM対応可能） ３．お客様の要求に応じ、柔軟にカスタマイズ可能 ４．独自開発と製作...
メーカー・取り扱い企業： アジアファインテック株式会社 韓国本社
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