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  • 汎用タイプ 膨張黒鉛編組パッキン『ピラーNo.6114』 製品画像

    PR金属線を使用していない汎用タイプの膨張黒鉛パッキン!

    『ピラーNo.6114』は、有機繊維で補強した膨張黒鉛の編糸を、 断面角型に編組した、金属線を使用していない膨張黒鉛パッキンです。 膨張黒鉛編糸の表層は、シール性、摺動性などの性能を最大限に 発揮させるため特殊潤滑剤が強固に処理されています。 【性能】 ■温度:-200~400℃  (パッキン部温度は350℃以下) ■圧力:5.3MPa(クラス300) ※詳しくはPDF...(つづきを見る

  • EFEM(Equipment Front End Module) 製品画像

    EFEM(Equipment Front End Module)

    本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM(Equipment Front End Module)です。 ウエハサイズは、200/300mm(8/12インチ)に対応しています。 スループット: 150wph OCR / 450wph ...(つづきを見る

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