SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　事業紹介

搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください…

事業内容】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットの製造販売 →半導体搬送ロボット →アライナ →基板搬送ロボット →システム（ソータシステム、卓上ローダシステム、EFEM等） →オプション（コントローラ、ベイヌーイ・チャック、吸着チャック、反転ユニット、ティーチングボックス等） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル