チャッククリーニングウェハ(CCW)　技術ハンドブックVol.1

技術ハンドブックプレゼント！種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果な…

当資料は、ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するための お掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。 フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、 種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(一部)】 ■チャッククリーニングウェハ(CCW)とは ■CCWの紹介(開発の歴史・材質) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル