【高強度・軽量・防塵】アルミ安全柵・安全カバー※一貫生産対応

PR軽量・高強度のアルミフレームを活用した安全柵・安全カバーを制作！ロボッ…

軽量・高強度のアルミフレームで作る安全柵・安全カバー・クリーンルームをお探しの方はいませんか？ オリジナルアルミフレームで安全柵、安全カバーを客様のご要望通りに製作します。 【アルミフレーム安全柵・安全カバーの特長】 ◆柔軟なレイアウト設計が可能な安全柵 様々な寸法のパネル・扉・天井部分の組合せで自由自在にレイアウト。 ◆取付け工事が簡単 色々なパターンの安全柵が連携プレー...

メーカー・取り扱い企業： 鍋清株式会社

プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

PRプラズマ処理効果の「見える化」を実現！プラズマインジケータ(TM) P…

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II：昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE：昇降用...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

『ゴア(R) ハイパーシート(R) ガスケット』

シール用途以外にも！クリーンな環境下での断熱材や緩衝材などとしても使用…

軟性、加工性に優れ、耐熱性・耐薬品性・耐クリープ性・クリーン性を兼ね備えた 延伸PTFE（ePTFE)100％からなるシートガスケットです。 一般工業の各種機器用ガスケットを初め、半導体・FPD製造工程、装置用ガスケットなど、厳しいクリーン性が求められる分野でのガスケットとして、様々な用途で優れたシール性能を発揮します。 【『ゴア(R) ハイパーシート(R) ガスケット』の特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ゴア合同会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

耐薬品性とクリーン性を両立！【ピラーハイパークリーンガスケット】

日本ピラー工業の延伸PTFE（ePTFE）製配管フランジガスケットNo…

【ePTFE製「ピラーハイパークリーンガスケット」No.3355の概要】 日本ピラー工業の延伸PTFE（ePTFE）製、配管フランジ用ガスケット 『ピラーハイパークリーンガスケット/No.3355』は、 ・マシュマロ様の延伸PTFE（ePTFE）製ガスケットです。 ・圧縮方向に柔軟で、馴染み性と低クリープ性に優れます。 ・独自の『局所高密度構造』を採用しており、 　汎用ePTFEシ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

株式会社マルマエ 事業紹介

小物から大物まで！真空パーツや高精度部品を製造しています

当社は、精密機械部品の精密切削加工・設計などを行っている会社 です。 半導体・FPD・太陽電池製造装置の真空パーツや各種分野の高精度 部品を製造しており、豊富な設備と経験で試作から量産まで対応致 します。 さまざまな分野で総合メーカーを支えられる企業となるため、先端 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルマエ