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極単純構造で製造コストを削減!4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…
【仕様】 ■被搬送物:4インチ GaAsウェハ、SiCウェハ ■位置決め精度 ・センタリング:±0.2mm以内 ・オリフラ:±0.1度以内ないしは±0.15度以内 ■位置決め時間:約15秒以内ないしは約10秒 ■クリーン度...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応!顕微鏡ロー…
0』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2~4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2~4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ■レーザー型マ...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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