洗浄機『炭酸ガス　ドライステーション』

スラリー同時噴射で加工パワーの大幅アップを実現する洗浄機！

【洗浄アプリケーション】 ■GaAs,Fe-RAM,GMR-Head等リフトオフ、エッチング後のバリ取り ■メタル種類：Pt,Ir等高高度貴金属系及びNiFe、Crなどの多層膜 ■有機,無機ELのITO上(EL素子成膜前)の有機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェムテック

各種製造装置

半導体製造装置やLED・OLED等の洗浄装置、空気清浄装置など幅広くラ…

【半導体装置】 ■Ф300mmカセットレス（50枚搬送） ■5、6、8 ” ウェハカセット洗浄装置 ■有機洗浄装置 ■Siナゲット洗浄装置 ■GaAsエッチング装置 ■マランゴニドライ洗浄装置 ■自動カセットオーブン ■ウェハ移載装置 ■石英管洗浄装置 ■石英管保管庫 ■スピンドライヤ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

卓上スピン洗浄装置

上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。

きの無いハイレベルな表面品質が得られます。 ■基盤品質Upと洗浄作業費削減の両立を達成 　◎例えば、4台の卓上洗浄機を人工代の安い1人の作業者で運用処理 ■Si、SiC、GaN、サファイア、GaAs、LT等の処理に最適 ■丸形状基板は勿論、Crマスク等の角形状にも対応 　◎Maxサイズ：Φ20mm、6インチ角 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング