人協働ロボット搭載AGV

PR理想の1台が手に入る！人協働ロボットで進化したラボ・オートメーションを…

「人協働ロボット搭載AGV」は、人協働ロボット「MOTOMAN-HC10 (可搬重量10kg)」を搭載し、試験に必要な資材の運搬を行います。 各試験ロボットセルを繋ぎ、進化したラボ・オートメーションを実現。 カスタマイズに完全対応しており、牽引型、特殊車体も検討が可能です。 また、自由なレイアウトを可能にする非接触充電システムを搭載しております。 【特長】 ■停止制度：公称...

メーカー・取り扱い企業： 田辺工業株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

圧力制御弁『H/HCシリーズ』

チェック弁付シーケンス弁、またはカウンタバランス弁として使用されるHC…

『H/HCシリーズ』は、内部または外部のパイロット圧力で作動させることが できる油圧緩衝付の直動形圧力制御弁です。 「H形圧力制御弁」は、弁の組み方により、シーケンス弁、アンロード弁、 低圧用リリー...

メーカー・取り扱い企業： 油研工業株式会社