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PR理想の1台が手に入る!人協働ロボットで進化したラボ・オートメーションを…
「人協働ロボット搭載AGV」は、人協働ロボット「MOTOMAN-HC10 (可搬重量10kg)」を搭載し、試験に必要な資材の運搬を行います。 各試験ロボットセルを繋ぎ、進化したラボ・オートメーションを実現。 カスタマイズに完全対応しており、牽引型、特殊車体も検討が可能です。 また、自由なレイアウトを可能にする非接触充電システムを搭載しております。 【特長】 ■停止制度:公称...
メーカー・取り扱い企業: 田辺工業株式会社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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集塵ブロワー内蔵でエアー吹き設定タイマー付き!自動エアークリーナーもラ…
、エアー吹き設定 タイマー付きTC-2H型「手動式エアークリーナー」です。 排気アブソリュートフィルターと静電除去エアーを搭載。 この他にも、ノズル上下動式で光電式瓶検知可能な、 「HC-4H型 手動式エアクリーナー」と、ノズルは瓶内挿入で容器は直立式の 「SC-6H型 自動エアークリーナー」をご用意しております。 【特長】 ■集塵ブロワー内蔵 ■エアー吹き設定タイマー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社扇機械製作所
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