スピンドライヤー　SPD-1200G

【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…

板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…

〜概要〜 ・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。 ・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ○クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が可能 ○異常振動が発生した場合、自動的...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…

を一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300m/m ○HEPA又はULPA：フィルター内蔵 ○ロボット：サーボモーター ○薬液槽：揺動、超音波洗浄、メガソニック ○リンス槽：バブリング、QDR、比抵抗計設置 ○ULD：lonaizar（オプション） ...

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スピンドライヤー　SRD型

【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）…

SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社