フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

協働ロボット パレタイザー 向け (LC3IC Elevate)

PRLC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバー内蔵。協働ロボット…

LC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバーが内蔵されているため、電動昇降装置のオンボード制御や診断が簡単です。LC3 IC は、産業用通信インタフェースにより、協働ロボットパレタイザーや高さ調整可能なコンベアベルトなどの用途など、産業人間工学に好適な電動昇降装置となっています。 LC3 IC は ELEVATEと呼ばれるモデルで、特に特定のインターフェース、ソフトウェアドライバー、...

メーカー・取り扱い企業： リナック株式会社 日本支社

ASAS II オンライン自動標準液添加装置

検量線用標準液をオンラインで自動調製しサンプルラインに添加します。従来…

ICP-OES/ICP-MSのサンプルラインに標準液を自動添加するシステムです。 ●検量線の自動作成から、標準添加法へも応用できます。 ●高性能シリンジポンプでサンプル送液ラインに標準液を自動で添加できます。 ●接液部は全てPFA製です。 ●負圧吸引でも使用することができます。 ●有機溶媒の測定や、色々な種類のサンプル（マトリックス）を測定する方に特におすすめです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

分析・解析機器　薬液中金属不純物分析システム

半導体製造ラインで用いられている洗浄薬液やガス中の金属不純物を測定する…

洗浄薬液槽近くに設けられたサンプリングモジュールで生成した微細のエアロゾルを アルゴンガス気流に乗せて長距離（100mまで）を移送し、 ICP-MS近くに設けられた切替えバルブにて薬液を選択し、ICP-MSにて自動分析するシステムです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

分析・解析機器　分析装置用消耗品　トーチ/インジェクター

各メーカー製ICP-OES/ICP-MSに対応した消耗品・アクセサリを…

各種アプリケーションに対応できるように、材質（パイレックス、石英、ポリプロピレン、PFA）、 形状共に様々なものをご用意しています。 また、ご要望により、特殊なアプリケーションに対応するためカスタマイズしたものも製作いたします。 ...【特徴】 ◯一体型トーチ ◯トーチインジェクター部と分離できるデマウンタブルトーチ ◯トーチインジェクター部の材質は、一般的に使用されている石英製のほか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

分析・解析機器　全自動気相分解装置「Expert(TM)」

シリコンウェーハ中の不純物分析に欠かせない全自動気相分解(VPD)装置…

【特徴】 ◯特別に設計されたオートサンプラーと独自のソフトウェアを用い、 　ウェーハの分解、回収、分析まで真の自動化を実現 ◯VPDシステムからICP-MSへの移送中に起こる汚染のリスクを回避 ◯二段構造のスキャンノズルを用いて、高濃度サンプル溶液の自動希釈が可能 ◯特殊VPDチャンバーにより、ポリシリコンのエッチングが可能 ◯12インチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

分析・解析機器　分析装置用消耗品　ネブライザー

各メーカー製ICP-OES/ICP-MSに対応した消耗品・アクセサリを…

各種アプリケーションに対応できるように、材質（パイレックス、石英、ポリプロピレン、PFA）、 形状共に様々なものをご用意しています。 また、ご要望により、特殊なアプリケーションに対応するためカスタマイズしたものも製作いたします。 ...【特徴】 ◯耐フッ酸系ネブライザーにはPFA製を使用 ◯高塩濃度には、先端形状、キャピラリー径を変更したものを使用 ◯さらに高塩濃度の測定には、V溝型ネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

分析・解析機器　分析装置用消耗品　スプレーチャンバー

各メーカー製ICP-OES/ICP-MSに対応した消耗品・アクセサリを…

各種アプリケーションに対応できるように、材質（パイレックス、石英、ポリプロピレン、PFA）、 形状共に様々なものをご用意しています。 また、ご要望により、特殊なアプリケーションに対応するためカスタマイズしたものも製作いたします。 ...【特徴】 ◯霧の選別能力が高いスコット型スプレーチャンバー ◯感度が高いサイクロン型スプレーチャンバー ◯安価なパイレックス製 ◯純度の高い石英製 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.