試作量産対応半自動露光装置

アライメント精度＝±1μｍ以下！！！

<特徴> 試作量産に適した、高精度パターニング、アライメント精度を提供します。 ...2、6、8インチ又は角基板も対応アライメントは自動、平行だし、Gap制御も自動で、ワークの搬入、搬出のみ人手にて行います。 片面、両面アライメントに対応します。 アライメント精度＝±1μｍ以下。 除振機能は標準仕様、両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です。 露光方式は、バ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所