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Nd:YAGレーザパルス蒸着システム
高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD（Pulsed Laser Deposition)法はPVD（物理気相蒸着）法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。 Nd:YAGレーザは装置コストが廉価であること、金属系ターゲット...
メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社
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エキシマレーザパルス蒸着システム
高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD（Pulsed Laser Deposition)法はPVD（物理気相蒸着）法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。 中でもエキシマレーザはもっとも適したレーザ発振器のひとつであり、...
メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社
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