三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

PR研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸

工具管理システム GTMS | コスト削減＋生産性向上につながる

PR工具及び消耗品他を一括でデジタル管理できるGTMSで効率化、欠品・過剰…

現場において工具にまつわる悩み事は尽きません。 ●工具を探すのに時間がかかる ●台帳上はあるのに現物は欠品していて加工ができない ●再研磨品から使うべきなのに新品に手を付けてしまう　等々… 正確にデジタル管理可能なGTMSは『簡単操作』『情報収集機能』『情報分析機能』『情報指示機能』が大きな特長です。 工具管理を改善することで現場の効率化を実現し、そこから得られる正確なデータは管理部...

メーカー・取り扱い企業： グーリングジャパン株式会社

MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

MEMS素子検査装置（メムス　微細穴深さ計測、パターン検査）

MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途に使用...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社