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実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置
チャンバーをご用意 2.カソードサイズは2〜6インチに対応 3.2インチカソードタイプは3源式にも対応 = 薄膜の積層を実現 4.多彩なオプションをご用意 基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc....
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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