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    研究・開発実験用 RFスパッタ装置

    実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

    チャンバーをご用意 2.カソードサイズは2〜6インチに対応 3.2インチカソードタイプは3源式にも対応 = 薄膜の積層を実現 4.多彩なオプションをご用意   基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc....

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

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