プラズマアッシャー/ストリッパー

強力なプラズマ分子照射とヒータチャックを組み合わせることにより、通常の…

特長 ●高出力密度ダウンストリーム・プラズマ処理 ●ヒータステージ最高温度250℃ ●MFCによる各種ガス雰囲気制御（最大４系統） ●低周波40kHzプラズマ電源により効率的で加熱の少ない処理を実現 （CV200RFS） ●ストリップレート 　CV200RFS：最大7000Å/分...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社