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高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。 ...○ナノメートル位置分解能 ○弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作 ○高速応答・高剛性を重視 ○高精度...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メステック
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