マスフローコントローラ『Type GM51A』

ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削…

ール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sc...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

汎用型マスフローコントローラ『1179C』

標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能…

としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置、信号および機能を備えた Dサブコネクタで、ケーブルやコネクタの変更も不要です。 MKSおよび他社のMFC電源、表示器と互換性があります。 【特長】 ■要求の厳しいプロセスに対応 ■特許1取得済みのセンサ設計により、優れたゼロ安定性 ■フルスケールレンジ10sccm～20...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

修理-3

RPS(MKS, AE)

※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389...※詳細は添付PDFの参照、及びお気軽に弊社宛に直接お問い合わせ下さい。 047-369-3389...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社P.R.A. 本社