マスフローコントローラ『Type GM51A』

ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削…

ール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sc...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社