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ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削…
ール、 N2換算フルスケール5sccm~50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msecと高速で再現性の高い応答をします。 多彩なガス種にN2換算フルスケール5sc...
メーカー・取り扱い企業: 日本エム・ケー・エス株式会社
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