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EFEM（Equipment Front End Module）
EFEM（Equipment Front End Module）
本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット： 150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）...本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）で...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
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