絶対寸法フィルター

PR医療分野や産業分野など広い分野で使用！より高精度なフィルターとして位置…

当社では、フィルター内の全開孔サイズを「絶対に正確な寸法で形成されて いることを保証する」という「絶対寸法フィルター」を取り扱っております。 X線を用いた高精度なフォトリソグラフィ及び電鋳加工技術を駆使し、 全孔の開孔寸法をφD±0.3μmという超高精度で製作。 また、粒子への傷防止や目詰まり低減を目的とした加工(R/テーパー加工) や、CTC(血中癌細胞)補足用の特殊孔形状の加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプトニクス精密

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！特に純度の高いガスでも安心してお使いい…

V50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300SH/AH』

TORR調整器をベースに開発！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に…

圧力調整器です。 「STV2300SHシリーズ」は、要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が 特に大きい部品に、「STV2300AHシリーズ」は、調整器本体の接ガス金属部 すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 【特長】 ■腐食性ガス用機種 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV30/30SHシリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実…

【その他の特長】 ■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVA10シリーズ』

負圧制御、低蒸気圧用機種！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク…

トで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』

一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております

ネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」が ございます。お問い合わせください。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタル...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV02シリーズ』

小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整…

標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■小型機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』

出荷検査を全数に実施！タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器の…

スの供給に強い構造 ■接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減 ■加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても対応可能 ■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部