フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット（アクチュエータ）が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のＴダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Ｔダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

施設管理サービス　『TEN-PLA』

タブレットで簡単管理！　施設管理サービス　『TEN-PLA』

■作業の不正報告防止 現場でQRコード、RFIDタグを読み取ることで確実な作業の証明ができます。 ■点検業務のペーパレス化！ 複数現場の点検作業もタブレット一つで完結。 ■誰にでもカンタン操作 直感的な操作が可能な、誰にでもわかりやすい画面インターフェイスになっています。 初めての方でもすぐに使用できるので、教育時間の軽減や人件費の削減にも繋がります。...■ソフト 　施設管...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケーウェイズ